ダイヤモンドライクカーボン(DLC)系多層膜を積層したボロンK発光対応高回折効率回折格子の開発

小池 雅人; 今園 孝志; 小枝 勝*; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; 能登谷 智史*; et al.

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鉄鋼材料に添加されたボロン(B)は微量でも鋼材の特性、例えば、内部構造や強度(硬性,靭性)、耐蝕性,耐熱性,磁気特性等に大きな影響を与えることはよく知られている。約半世紀前にはボロンを添加した原子力鋼が注目されたが、最近は省資源、軽量化への関点から車両等に用いる薄板鋼板として、ボロン鋼に関する研究は産業界を中心に材料科学分野において重大関心事となっている。しかし、ボロンの添加量が他の元素に比して著しく少ない(一般に、530ppm程度)ために、ボロンの挙動に関する理解は十分に進んでいない。そこで、B-K発光線(波長: 6.76nm、エネルギー: 183.3eV)近辺におけるX線発光分光分析研究に資するため、新規にダイヤモンドライクカーボン(DLC)系多層膜を表面に積層した高回折効率ラミナー型回折格子の開発を行っているので報告する。