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小原 建治郎; 阿部 哲也; 中村 博雄
JAERI-M 7216, 34 Pages, 1977/08
モリブデンによる蜂の巣構造壁の実効的スパッタリング収率を重量測定法により求めた。平板と蜂の巣構造壁の試料は直流2極スパッタリング装置により、アルゴングロー放電中で同時に照射された。入射粒子のエネルギー範囲は500~1000eV、入射角度はほぼ垂直であった。実験は蜂の巣構造の深さ(L)と幅あるいは直径(D)の比、L/Dをパラメータとし、照射後の平板および蜂の巣構造壁試料の重量減少の比を求めた。それによると、角孔蜂の巣構造の場合、L/Dが1以上においては平板に比べ、実効的スパッタリング収率が1/20~1/30と減少した。また、照射前後にかいて蜂の巣構造壁の試料表面を走査型電子頭徴鏡により観察したが、それによると蜂の巣構造の側壁が、スパッタ粒子を捕捉していることがわかった。
