Effect of filament material and area on the extracted current from a volume H ion source

井上 多加志; 松田 恭博*; 小原 祥裕; 奥村 義和; M.Bacal*; P.Berlemont*

Plasma Sources Sci. Technol., 1, p.75 - 81, 1992/00

https://doi.org/10.1088/0963-0252/1/2/001

体積生成型負イオン源において、アーク放電の陰極であるフィラメント材料とその本数を変えて、負イオン引き出し実験を行った。その結果、1)タンタル製フィラメントによりタングステンフィラメント使用時より負イオン電流を50%増大させうること、2)フィラメント本数が少ないほど高い負イオン電流が得られること、が判明した。これらの結果は、イオン源アーク放電室の壁面に蒸着したフィラメント材料の新鮮な蒸着膜が負イオン生成に影響を及ぼすことを示している。負イオン生成過程のシミュレーションから、フィラメント材料の違いによる負イオン生成量の変化は、壁に蒸着したフィラメント材料の被膜上での水素原子の再結合係数の差に帰因すると考えられる。