On ion track geometry in the etching process

J.Vacik*; J.Cervena*; V.Hnatowicz*; S.Posta*; D.Fink*; 楢本 洋; 小林 慶規*; 平田 浩一*; P.Strauss*

Radiat. Eff. Defects Solids, 147, p.177 - 186, 1999/00

高エネルギー重イオン入射による高密度電子励起の結果形成されるトラック構造の化学エッチング過程について、-粒子透過法によって詳細に解析した結果の報告である。試料としては、ポリエチレン・テレフタレート(PETP)を用い、11.4MeV/nPbイオンを極めて少量照射後(10/cm)、LiOH溶液中で、イオンの通過した飛跡(イオントラック)をエッチングした。エッチング時間の関数として、透過粒子のエネルギー・スペクトルを計測し、モンテカルロ・シミュレーションの結果と対比して、トラックのサイズ、試料表面からの傾斜角等のパラメータを評価した。