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論文

High spatial resolution ZnO scintillator for an in situ imaging device in EUV region

有田 廉*; 中里 智治*; 清水 俊彦*; 山ノ井 航平*; Empizo, M.*; 堀 達広*; 福田 一仁*; 南 佑輝*; 猿倉 信彦*; 圓山 桃子; et al.

Optical Materials, 36(12), p.2012 - 2015, 2014/10

 被引用回数:9 パーセンタイル:45.71(Materials Science, Multidisciplinary)

EUV励起によるZnO結晶の発光パターンのシングルショットイメージを計測した。EUVビームの集光点にZnOを置いたときの発光パターンのサイズは横5.0$$mu$$m、縦4.7$$mu$$mであり、これはEUVレーザーのスポットサイズ1$$mu$$m、発光観測用拡大光学系(シュワルツシルトミラーとレンズ)の分解能4$$mu$$mよりも大きい。我々はZnOの実効的な発光寿命からエキシトンの拡散長を見積もった。発光寿命は励起密度に依存してエキシトンーエキシトン衝突による消光により短くなっている。我々の結果からは、空間分解能を改善するためにより短寿命のZnOが望ましいことが示唆された。

論文

Evaluation of soft X-ray laser with ${it in situ}$ imaging device of high spatial resolution ZnO scintillator

中里 智治*; 清水 俊彦*; 山ノ井 航平*; 酒井 浩平*; 武田 耕平*; 西 亮祐*; 南 佑輝*; Cadatal-Raduban, M.*; 猿倉 信彦*; 西村 博明*; et al.

Japanese Journal of Applied Physics, 50(12), p.122202_1 - 122202_4, 2011/12

 被引用回数:9 パーセンタイル:38.03(Physics, Applied)

軟X線レーザー診断のための高空間分解能イメージングデバイスとして、水熱合成法により製作したZnOの励起子発光パターンを計測する方法の可能性を評価した。X線の集光点付近での発光パターンを計測し、ウエスト位置での半径を見積もることにより、Ni様AgプラズマX線レーザーのビームウエストでの半径が横方向と縦方向で29$$mu$$mと21$$mu$$m、発散角が7.2mradと11mrad、ビーム品質M2が47と50と見積もられた。空間分解能は6$$mu$$mで、拡大レンズを最適化し望遠鏡で拡大することによりさらに改善できる。今回の結果により、ZnOの軟X線光源の開発と応用で重要な役割を果たす画像計測素子としての利用がさらに加速されることが期待できる。

口頭

EUV自由電子レーザーを用いたAr$$_2$$エキシマー発光の計測

西 亮祐*; 南 佑輝*; 山ノ井 航平*; 中里 智治*; 清水 俊彦*; 猿倉 信彦*; 岩山 洋士*; 繁政 英治*; Harries, J.; 永園 充*

no journal, , 

本研究ではSCSS自由電子レーザーを利用してArのエキシマー発光の測定を行った。実験として、高濃度のArガスに波長51nmの高強度な極端紫外レーザーを照射し、Arエキシマーを発生させた。このときの脱励起過程を真空紫外領域に対応した分光器とストリークカメラで計測したところ波長126nmのArエキシマーの発光が観測できた。この波長126nmの発光はこれまでArエキシマーの発光として広く知られているが、極端紫外レーザーを用いて励起させた例はない。このArエキシマーの発光が、極端紫外レーザーを用いても観測できたことで、極端紫外領域においてもArの光応答が見られることがわかった。今後極端紫外レーザーの強度やArガスの濃度などの条件を変化させ、この現象をより詳細に解析したい。この結果は今後の極端紫外レーザー並びにX線自由電子レーザー技術の応用・展開に寄与するものである。

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