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曽根 和穂; 大塚 英男; 阿部 哲也; 山田 礼司; 小原 建治郎; 成沢 忠*; 塚越 修*; 佐竹 徹*; 小宮 宗治*
真空, 20(4), p.136 - 141, 1977/04
室温におけるモリブデンのスパッタリング収率をオージェ電子分光法を用いて測定した。イオンビームは0.1~6keVのプロトンである。この方法は10atoms/ion程度の微小なスパッタリング収率を測定するには有力な方法である。また熱分解黒鉛のスパッタリング収率を測定するには有力な方法である。また熱分解黒鉛のスパッタリング収率を上記エネルギー範囲のプロトンについて、物理的スパッタリング収率と化学的スパッタリング収率を分けて測定することに成功した。また本論文は昨年11月26日学振141委員会の研究会および、11月27日真空に関する連合講演会において講演した内容をまとめたものである。
塚越 修*; 成沢 忠*; 水野 正保*; 曽根 和穂; 大塚 英男; 小宮 宗治*
JAERI-M 6331, 38 Pages, 1975/12
真空壁の表面現象の研究のための実験装置の設計を行った。本装置のイオン源およびビーム輸送系は、0.1~6keVのエネルギー範囲のイオンビームで固体ターゲットの表面を衝撃できるように設計されている。本報告では実験の測定系として使われる測定器の組み合わせおよび真空チェンバー内でのこれらの相互の位置関係について、詳細な図面を示しながら説明を加える。またイオン自身の空間電荷効果が無視できない低エネルギー領域でのイオンビームの輸送系の設計に関する基本的な考え方を説明する。