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依田 修; 宮下 敦巳; 村上 浩一*; 大柳 孝純*; 青木 貞雄*; 山口 直洋*
Japanese Journal of Applied Physics, 32(SUPPL.32-2), p.255 - 257, 1993/00
レーザープラズマを軟X線光源とする実験室規模のX線吸収分光装置を開発した。この装置の主たる利用目的は種々の物質のエネルギービームによるプロセシング過程をX線吸収微細構造(XAFS)の観測によって解明することである。装置の構成、特徴及び性能について述べるとともに、カーボンのレーザーアブレーションの過程を時間分解測定した結果について報告する。
依田 修; 宮下 敦巳; 大柳 孝純*; 村上 浩一*
JAERI-M 92-173, 27 Pages, 1992/10
レーザープラズマをX線源として用いた実験室規模時間分解X線吸収分光装置を作製した。この装置の使用主目的は、100eV~3keVのエネルギー範囲で、プロセス中の種々の物質のX線吸収微細構造を観測することである。金をターゲットに用いた時、300eV以下のエネルギー範囲で最も強いX線が発生し、パルス当り10
光子の強度が得られた。分光器のエネルギー分解能は5
10
であった。炭素棒とC
粉末を圧縮したペレットのレーザーアブレーションによって表面から飛び出したフラグメントの動的挙動を観測した。フラグメントの主成分はクラスター、中性原子及びイオンで速度は
1.410
m/s(クラスター)及び
210m/s(原子、イオン)と評価された。弱いアブレーションではC分子がペレットから分解せずに飛び出す。XPSの結果から、ペレット表面の組織変化が示唆され、SEMの結果から、表面散乱模型で説明できる周期構造が見い出された。
宮下 敦巳; 依田 修; 村上 浩一*; 大柳 孝純*; 青木 貞夫*; 山口 直洋*
Proc. of the Laser Advanced Materials Processing,Vol. 1: LAMP 92, p.1029 - 1034, 1992/00
レーザプラズマX線源は放射光に比べコンパクトであり、かつ、入射レーザ光と同程度の短パルス幅で軟X線領域で高輝度と、実験室規模の時間分解測定に使用するX線源として適している。我々の装置においては測定可能エネルギー領域を100eV~1keVの低エネルギー側、1keV~3keVの高エネルギー側と分割し広いエネルギー領域をカバーする事ができる。また、X線生成に用いるレーザを一部分試料照射用に分岐させ、同時にX線生成レーザを遅延回路を通してターゲットに入射する事により、レーザ照射後の試料を時間分解吸収分光測定出来る。生成されるX線量はターゲットチェンバーで10
photons/sr、分光器のエネルギー分解能は低エネルギー側、高エネルギー側とも
E/Eの値で約510である。
