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論文

セラミックターボ型粘性真空ポンプの性能試験

阿部 哲也; 廣木 成治; 村上 義夫; 白石 成之*; 琴浦 貞行*; 大滝 貴志*

真空, 37(3), p.161 - 164, 1994/00

核融合装置などの特殊分野で使用する耐磁場性等を有するセラミックターボ型粘性ポンプ(CT-3000H)(高真空から大気圧領域で動作する)の開発を進めている。今回、このCT-3000Hに対する各種評価試験結果について報告する。評価試験の主な項目と、その結果は以下の通りである。(1)最適回転数:22,000rpm(定格値確定),(2)最大排気速度:3.0m$$^{3}$$/min(N$$_{2}$$),1.7m$$^{3}$$/min(He),(3)最大連続排気流量:1.2$$times$$10$$^{3}$$Pam$$^{3}$$/min(N$$_{2}$$),(4)最大動作圧力(連続運転可能圧力):1.3$$times$$10$$^{4}$$Pa

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