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阿部 哲也; 村上 義夫; 平林 武雄*; 大澤 晴繁*; 引田 和雄*; 白石 成之*; 泰 聰*
JAERI-M 92-092, 54 Pages, 1992/06
ターボ型真空ポンプの高速回転体をファインセラミックスや新複合材料等の新素材で構成する場合の技術的な問題と限界を従来の金属材料で構成する場合のそれと比較して調査した。これに基づき、核融合炉用の大型ポンプに使用することを前提に新素材の回転体への適用性を検討した。
村上 義夫; 阿部 哲也; 大澤 晴繁*; 秦 聡*
J. Vac. Sci. Technol., A, 9(3), p.2053 - 2057, 1991/05
核融合炉やその他の先進的な真空機器の真空排気システムを構成するため、ターボ粘性ポンプと呼ぶにふさわしい新型の粗引きポンプを開発した。このポンプは、複数の円盤からなるロータをステータ(静翼)の間で高速に回転させるもので、ロータに窒化ケイ素セラミックスを用い、ロータ全体を支持する気体軸受とロータを25,000rpmで回転させる気体タービンを備えているのが特徴である。新開発のポンプは大気圧から高真空までの広い圧力範囲で動作し、11枚の直径150mmの回転円盤を用いたポンプで最大排気速度0.28m
/min、到達圧力1
10
Paなどを確認した。この粗引きポンプの特長として、(1)完全オイルフリーである、(2)強磁場中で運転できる、(3)着火源がない、(4)高温運転が可能である、などが挙げれる。
阿部 哲也; 村上 義夫; 引田 和雄*; 大澤 晴繁*; 秦 聡*
Vacuum, 41(7-9), p.1992 - 1994, 1990/00
被引用回数：7 パーセンタイル：43.6(Materials Science, Multidisciplinary)磁場閉じ込型核融合装置で使用できる耐磁場、耐放射線性を有するセラミックターボ分子ポンプの開発を行なった。このポンプは回転部をすべて窒化珪素(Si
N
)セラミックスで製作しており、しかもガスベアリング、ガスタービン駆動、非接触ネジシールから構成されている。今までに80l/s(排気速度)の小型セラミックポンプの開発を終え、今回は回転翼(SiN)直径210mm
、回転数25000rpmの中型セラミックポンプを試作し、各種の試験を実施した。その結果、排気速度500l/s、到達圧力410
Paの性能を得た。
