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論文

Electrostatic accelerators facility for multiple ion beam applications

齋藤 勇一; 田島 訓; 高田 功; 水橋 清; 宇野 定則; 大越 清紀; 石井 保行; 神谷 富裕; 四本 圭一; 田中 隆一; et al.

Laser and Ion Beam Modification of Materials (Trans. of Materials Research Soc. Jpn., Vol. 17, 0, p.81 - 84, 1994/00

3台の静電加速器、ビーム輸送系及び実験装置から成るTIARA静電加速器施設が完成した。これは材料開発専用施設としてユニークな特徴をもっている。複数の加速器を同時に用いるデュアルビーム、トリプルビームなど複合ビームの特徴を生かした実験装置を中心に本施設の概要を発表する。

論文

TIARA electrostatic accelerators for multiple ion beam applications

齋藤 勇一; 田島 訓; 高田 功; 水橋 清; 宇野 定則; 大越 清紀; 石井 保行; 神谷 富裕; 四本 圭一; 田中 隆一; et al.

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 89, p.23 - 26, 1994/00

 被引用回数:42 パーセンタイル:94.26(Instruments & Instrumentation)

このほど完成したTIARA静電加速器施設には、それぞれ特徴のある3台の静電加速器があり、30keV~20MeVまでの入射エネルギーをカバーすることができる。このうちシェンケル型昇圧回路をもつ3MVシングルエンド静電加速器は$$pm$$1$$times$$10$$^{-5}$$という優れた電圧安定度を達成した。これらの加速器を中心にこの施設で利用できるイオンビーム技術について発表する。

論文

原研イオンビーム複合利用静電加速器群

石井 保行; 田島 訓; 高田 功; 水橋 清; 齋藤 勇一; 神谷 富裕; 宇野 定則; 大越 清紀; 貴家 恒男; 田中 隆一; et al.

第4回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム, p.105 - 108, 1993/00

TIARAの第2期分のシングルエンド加速器とイオン注入装置が今年7月に完成した。既に完成しているタンデム加速器を含めて、静電型加速器による複合ビーム施設を構成できることになった。シングルエンド加速器は、大電流のビームとサブミクロンのマイクロビームを作るため$$pm$$1$$times$$10$$^{-5}$$の電圧安定度が得られる様に設計されている。また、イオン注入装置は複数のイオン種を大電流で得られる様に設計されている。この2台の加速器の電流量の測定を行うと伴に、シングルエンド加速器に対しては電圧安定度も測定した。今回完成した2台の紹介も含めて、上記の測定結果について発表する。

論文

Heavy ion microbeam system for study of single event effects

神谷 富裕; 宇都宮 伸宏*; 峰原 英介; 田中 隆一; 大村 三好*; 河野 和弘*; 岩本 英司*

Proceedings of the International Conference on Evolution in Beam Applications, p.286 - 291, 1992/05

重イオンマイクロビーム装置が開発され、3MVタンデム加速器のビームライン上に設置された。主な用途は、宇宙船で使用される半導体素子のシングルイベントアップセットの基本的な機構を解明するためである。1$$mu$$m以内の位置精度で狙った位置にイオンを1個1個ヒットさせるべく本装置は設計された。本装置は2つの光学系によって構成されており、1つが前段レンズ系で、ターゲット電流を100pAから0.1pA以下まで極めて広いレンジで制御するためのものであり、もう一つが、1$$mu$$mのビームスポット径を得るための精密レンズ系である。現在$$^{58}$$Ni15MeVのビームを用いたテスト実験が開始された。ここでは、本装置の概要と、現在までに得られた実験結果について報告する。

論文

原研高崎重イオンマイクロビーム装置の概要

神谷 富裕; 宇都宮 伸宏; 峰原 英介; 田中 隆一; 河野 和弘*; 岩本 英司*

第3回タンデム加速器及びその周辺技術の研究会報告集, p.79 - 81, 1990/07

原研高崎ではMeV重イオンによるシングルイベント実験の可能なマイクロビーム装置が現在建設中の放射線高度利用研究施設に設置される。本装置の特色は光学系が前段と後段精密レンズ系によって構成されることである。精密レンズ系は、$$Phi$$1$$mu$$mのビームスポットサイズを得るためにマイクロスリット精密Qレンズ等で構成される。前段レンズ系を置くことにより加速器のパラメータを変更すること無く精密レンズ系を通過するイオン電流を増減させることができる。これによって、まずある程度大きなビーム電流で$$Phi$$1$$mu$$mのビームスポットサイズを確認したり、試料の照射部位を特定するための二次電子やRBSによるビーム計測をおこない、それにひき続いて容易に1$$mu$$mの位置分解能できわめて微少なビーム電流でシングルイオンヒット実験をするのが可能になる。今回は本装置の概要について述べる。

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