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後藤 宏平*; 鈴木 弘和*; 鵜殿 治彦*; 菊間 勲*; 江坂 文孝; 打越 雅仁*; 一色 実*
Thin Solid Films, 515(22), p.8263 - 8267, 2007/08
被引用回数:15 パーセンタイル:55.98(Materials Science, Multidisciplinary)FeSi原料の純度が溶液から成長させた-FeSiの電気特性に及ぼす影響について調べた。高純度FeSi原料は、純度5NのFeと5NupのSiを石英アンプル中で溶融合金化することにより合成した。アーク熔解で合金化したFeSi合金を用いて成長させた-FeSi単結晶はp型を示したものの、高純度FeSiを用いてZn溶媒から成長させた-FeSi単結晶はn型を示した。二次イオン質量分析の結果、p型単結晶中にはn型単結晶に比べて高い濃度のCr, Mn, Coなどの不純物が存在することがわかり、これらが電気特性に影響を及ぼしていることが示唆された。
後藤 宏平*; 鵜殿 治彦*; 菊間 勲*; 江坂 文孝; 打越 雅仁*; 一色 実*
no journal, ,
高純度のFeSi合金原料(99.9969%)及び低純度のFeSi原料(99.947%)で成長させた結晶の特性の違いを調べるために不純物分析を行い、不純物濃度と電気特性の関係を調べた。その結果、Mn, Cu, Ga, Wについては原料の純度を反映して低純度結晶の強度比が高純度結晶と比べて高かった。特にMn, Gaについてはp型不純物であることから、低純度結晶のp型伝導はこれら不純物の関与が考えられる。また、n型で1019cmと高い電子濃度を示す高純度結晶では、Zn以外の存在量は低く、ドナーとなる不純物濃度も低い。この結果は、高い電子濃度の原因が不純物ではないことを示唆する。