Role of reflection and sputtering in ion impact desorption of gases from solid surfaces

押山 孝*; 永井 士郎; 小沢 国夫*

Journal of Nuclear Materials, 168, p.162 - 170, 1989/00

https://doi.org/10.1016/0022-3115(89)90578-3

イオン衝撃による気体の固体表面からの脱着は、核融合におけるプラズマ/壁相互作用の重要な素過程である。このイオン衝撃脱離について、脱着断面積のエネルギー依存性に注目して、脱着断面積をWinters and Sigmund理論により解析的に計算し、文献から収集した実験データと比較した。比較の対象とした53の入射イオン/固体表面/吸着分子(原子)の系のうち、32の系については計算と実験がよく一致した。脱着機構を考慮するため、軽イオンによる脱着は主として反射イオンと吸着原子との衝突、一方重イオンによる脱着はスパッタされた固体構成原子と吸着原子との衝突によると仮定して脱着断面積の計算式を求めた。

Data compilation for particle-impact desorption,(II)

押山 孝*; 永井 士郎; 小沢 国夫; 竹内 富士雄*

JAERI-M 85-100, 292 Pages, 1985/07

JAERI-M-85-100.pdf:4.16MB

粒子衝撃による固体表面からの気体、不純物の脱着は、核融合炉におけるプラズマ・壁相互作用の重要な素過程の一つであり、脱着に関するデータの収集が要請されている。本報告書は、1958年から1984年までに公刊されたイオン衝撃、フォトン励起に関するデータの収集と評価を行った結果をまとめたものである。収集されたデータは入射エネルギー、固体表面温度、吸着ガスの種類、吸着量の関数として、グラフ及び数値表にまとめてある。