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論文

Spectroscopic evaluation on photosensitive Langmuir films using multichannel spectrophotometer

小川 一文*; 田村 秀治*; 畑田 元義; 石原 健*

Japanese Journal of Applied Physics, 27(8), p.1492 - 1497, 1988/08

 被引用回数:3 パーセンタイル:23.99(Physics, Applied)

長鎖脂肪基をもつ色素の単分子膜中の膜物質の配向を可視・紫外スペクトルから研究した。また紫外光照射下の単分子膜の反応についても研究した。単分子膜の光化学反応速度は分子占有面積に依存し、分子の配向と関連があることを明らかにした。

論文

Study of Langmuir-Blodgett films for KrF excimer laser resist

小川 一文*; 田村 秀治*; 畑田 元義; 石原 健*

Langmuir, 4(1), p.195 - 200, 1988/01

 被引用回数:8 パーセンタイル:53.56(Chemistry, Multidisciplinary)

光感受性累積膜の製作及び微細パターンの作製を目的として5種類のジアセチレン誘導体の累積膜を作製し、KrFエキシマーレーザー光による光化学反応の研究を行った。これらの累積膜のうちで、ベンタジイノイツク酸について最も好結果が得られ、0.3$$mu$$mの分解能が得られた。このパターン生成は、1,4位置における架橋によって起こるものと考えられる。

論文

Study on photoreaction process of 6-octadecyl sulphane lmide naphthoquinone diazide Langmuir films

小川 一文*; 田村 秀治*; 畑田 元義; 石原 健*

Thin Solid Films, 159, p.91 - 100, 1988/00

 被引用回数:4 パーセンタイル:29.88(Materials Science, Multidisciplinary)

6-オクタデシル・スルファン・イミド・ナフトキノン・ジアジド(OSN)単分子膜を種々の温度、pHの水面上に展開し、単分子膜の光化学反応速度と単分子膜中の分子配向との関連について研究を行なった。水温が高い程、pHが低い程、また表面圧は高い程、高い反応速度を示した。このことは、これらの条件で、光化学反応に好都合な分子配列が実現するものと考えられる。

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