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篠原 竜児*; 八巻 徹也; 山本 春也; 伊藤 久義; 浅井 圭介*
Journal of Materials Science Letters, 21(12), p.967 - 969, 2002/06
被引用回数:9 パーセンタイル:36.89(Materials Science, Multidisciplinary)レーザアブレーション法によりエピタキシャル酸化チタン(TiO)薄膜を-AlO上に作製し、その結晶構造の評価と表面形態の観察を行った。実験では、酸素雰囲気中でTiO焼結体ターゲットをKrFエキシマーレーザでアブレーションし、室温から600Cに加熱した-AlO(0001)及び(100)基板(それぞれC, M面)上に薄膜を堆積した。X線回折分析により、成長させた薄膜と基板面とのエピタキシャル関係を明らかにした。また、基板温度の上昇とともにロッキングカーブの半値幅は小さくなり、600CのときにはC面上で0.0265、M面上で0.2416となった。これらの値は、他の方法により作製した薄膜と比べて一桁ほど小さく、極めて良質な薄膜であることがわかった。原子間力顕微鏡による観察では、各基板上に表面形態の異なる薄膜が成長していることを確認した。
八巻 徹也; 篠原 竜児*; 浅井 圭介*
Thin Solid Films, 393(1-2), p.154 - 160, 2001/08
被引用回数:10 パーセンタイル:50.75(Materials Science, Multidisciplinary)本研究では、層状チタン酸の剥離反応を利用することによって触媒活性の高い薄片状TiOを調製し、それをLangmuir-Blodgett(LB)法で固体基板上に組織化することに成功した。層状チタン酸化合物HTi□・HO(x~0.7,□: 空孔)を水酸化テトラブチルアンモニウム((CH)NOH)水溶液中に分散・攪拌することによって、層状構造の剥離したチタニアゾル溶液を得た。得られたゾル溶液の水面上に膜形成分子としてジオクタデシルジメチルアンモニウムブロマイド((CH)(CH)NBr, DODAB)を展開すると、安定な単分子膜を形成した。この単分子膜を表面圧30-40mN/mに圧縮しておき、膜面を通過して石英ガラスを垂直に上下させること(垂直浸漬法)によって、DODAB分子を基板上に移しとることが可能であった。得られた薄膜はTiO薄片が有機分子と形成した規則的な層状構造体であることをX線回折分析により示した。