Two-Dimensional Fluid Simulation of Glow Discharge Plasma Reactors for Immobilization of Krypton

林 晋一郎; 池田 諭志; 田中 正明*; 酒井 洋輔*; 菅原 広剛*

Computer Physics Communications, 125, p.60 - 74, 2000/00

https://doi.org/10.1016/S0010-4655(99)00462-2

放射性クリプトンを長期に安定して貯蔵する方法として、金属マトリックス中に固定化する方法を開発している。本方法は、グロー放電プラズマ中で生成するクリプトンイオンを利用し、加速電圧の調節により、スパッタリングでアモルファス合金を作製しつつその合金中にクリプトンをイオン注入し固定化する技術である。本技術の評価、性能向上の検討には、グロー放電プラズマ中のイオン、電子状態等を解析することが有効となる。このため、流体モデルとPoisson方程式を組み合わせた2次元のプラズマのシミュレーションコードを整備し、このコードを用いて、3電極構造を持つイオン注入固定化装置のプラズマのシミュレーションを行った。計算結果は、定性的に実測値と一致した。