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口頭

プロトンビーム描画によるフレキシブル誘電泳動デバイスの創成

鮎瀬 銀也*; 西川 宏之*; 内田 諭*; 佐藤 隆博; 石井 保行; 神谷 富裕

no journal, , 

本研究は、PBW(Proton Beam Writing)を用いて柔軟性と透明性に優れたPETフィルム上に高アスペクト比の誘電体ピラーのアレイ構造を持つ3次元誘電泳動デバイスを製作することを目的とする。初めにピラーのアレイ構造ができる条件を調べるため、PETフィルム上にネガ型の感光性樹脂SU-8を15$$mu$$m厚で成膜し、これにH$$^+$$ビーム(3.0MeV, 1$$mu$$m$$phi$$, 試料電流10pA, 照射量100nC/mm$$^2$$)で微細加工後にピラーのアレイ構造となるパターン(直径3$$mu$$mのドットを間隔20$$mu$$mでアレイに配置)を描画し、その後、照射部の硬化を促進する熱処理と現像を行った。SEM(Secondary Electron Microscope)による観察でピラーのアレイ構造(直径3.0$$mu$$m, 高さ15$$mu$$m, アスペクト比5.0, 間隔20$$mu$$m)を確認できた。次にこの製作条件で、3次元誘電泳動デバイスの製作を行った。一対のギャップ付きの電極とピラーのアレイ構造のための位置決め用のパターンを製作するため、PET膜上に酸化インジウムスズ(ITO)膜が付加されたフィルムにポジ型感光性樹脂を成膜した。その後、マスクを用いたUV露光と現像、及びITOエッチングを行うことで電極と位置決め用のパターンを形成した。この電極付きフィルムにSU-8を成膜し、位置決め用のパターンを基準に電極ギャップにピラーのアレイ構造を製作した。SEMによる観察の結果、ITO電極ギャップ間のピラーのアレイ構造が確認でき、3次元誘電泳動デバイスの作製に成功した。

口頭

A Flexible dielectrophoretic device with high-aspect-ratio pillar arrays fabricated by proton beam writing

西川 宏之*; 鮎瀬 銀也*; 時田 寛也*; 内田 諭*; 佐藤 隆博; 石井 保行; 神谷 富裕

no journal, , 

Dielectrophoresis (DEP) has been widely used to trap micro particles and microbes such as E.coli. We previously reported the introduction of the DEP devices with SU-8 high-aspect-pillar arrays on a silicon substrate by proton beam writing (PBW) so as to improve their trapping capability. In this study, new DEP devices with the SU-8 high-aspect-pillar arrays have been fabricated on a polyethylene terephthalate (PET) film to add bendability. The fabrication was performed with proton beams (1.0-1.7 MeV, 1.0 $$mu$$m $$phi$$). The proton fluence to form the pillar on the PET film was determined in the experiments. As a result, the bendable DEP devices with the pillar arrays were successfully developed on the PET films to be widely used in industries.

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