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論文

CCDカメラによる軟X線発光分光

佐々木 貞吉; 中岸 信彦*

表面科学, 22(10), p.43 - 50, 2001/10

装置の小型化,検出効率の向上,時分割測定の可能性などを目指し、軟X線用CCD検出器を搭載した装置(ローランド円半径1m,エネルギー分解能500~1500,エネルギー範囲60~1500eV)を製作し、性能を評価した。試料から入射スリットまでの距離が13cmであったにもかかわらず金属,酸化物,グラファイト,Si半導体などからの軟X線発光について、3~30分計測でS/Nの良好なスペクトルを取得できた。Si単結晶については、Ar照射した試料のSi L$$_{2,3}$$スペクトルを測定・解析し、結晶性のキャラクタリゼーションに応用できることを示した。

論文

Performance of soft X-ray emission spectrometer employing charge-coupled device detector

佐々木 貞吉; 中岸 信彦*; 村松 康司*

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 467-468(Part.2), p.1489 - 1492, 2001/07

 被引用回数:3 パーセンタイル:28.27(Instruments & Instrumentation)

軟X線領域で高い検出効率をもつことが見いだされたCCDを、軟X線発光分光装置に取付け性能試験を行った。装置はローランド半径1m、マイクロスリット幅3.9$$mu$$m、グレーティングライン密度2400/mm、CCD位置分解能~24$$mu$$mであった。発光の励起源として1.5keV電子線を用い、遷移金属単体及び遷移金属酸化物からの発光スペクトルを測定した。スペクトルピークのライン幅を、ALSにおける放射光励起のデータと比較したところ、ほぼ同等のスペクトルであることがわかった。放射光励起と組合わせることにより、従来のMCPを採用した装置と同等もしくはそれ以上の性能が得られると期待される。

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