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-lactic acid) using focused ion beam direct etching大山 智子; 日名田 暢*; 長澤 尚胤; 大島 明博*; 鷲尾 方一*; 田川 精一*; 田口 光正
Applied Physics Letters, 103(16), p.163105_1 - 163105_4, 2013/10
被引用回数：11 パーセンタイル：44.13(Physics, Applied)生体適合性と生分解性を併せ持つポリ乳酸をバイオデバイスへ応用するため、集束ガリウムイオンを用いたダイレクトエッチングによる微細加工を試みた。照射イオン数(線量)と電流値(線量率)に依存して、エッチング速度や加工精度が変化することが分かった。ポリ乳酸はガラス転移温度(60
C付近)以上で容易に変形してしまうため、照射熱が加工特性に大きく影響したと考えられる。照射条件を制御して熱の影響を抑制することによって、直径約80nmのホールや100nm幅のアルファベットなど任意の微細加工に成功した。微細加工表面をマイクロエリアX線光電子分光で解析したところ、物理スパッタと放射線誘起分解反応によってポリ乳酸表面が炭化し、線量に応じてC=C結合が増えていくことが分かった。C=C結合が多い表面状態は細胞接着性が高いことが報告されており、本研究で得られたポリ乳酸の微細加工体は高い細胞接着性を持つことが期待される。
小林 亜暢*; 日名田 暢*; 大久保 聡*; 大山 智子; 長澤 尚胤; 田口 光正; 大島 明博*; 田川 精一*; 鷲尾 方一*
no journal, ,
高温下の電子線照射で架橋ポリテトラフルオロエチレンの転写体を得る新規微細加工プロセスに用いたSiモールドについて、表面の元素組成や粗さをXPSやAFMで測定した。その結果、600kGy以上で表面がフッ素化した滑らかなモールドが得られることがわかった。フッ素化したモールドを用いて難剥離材料(ポリカプロラクトン)に対してのナノインプリントリソグラフィーを行った結果、剥離及び形状の転写に成功した。
大山 智子; 日名田 暢*; 長澤 尚胤; 大島 明博*; 鷲尾 方一*; 田川 精一*; 田口 光正
no journal, ,
生体適合性・生分解性を有するポリ乳酸を用いたバイオデバイス開発に向け、量子ビームを用いた微細加工法の開発を行った。電子線ナノインプリントリソグラフィによって、電子線架橋と成型を同時に行い、100nmライン等のサブミクロン加工体を作製した。得られた架橋ポリ乳酸加工体は高い耐熱性を有し、加熱滅菌条件(120C, 10分)でも微細形状に崩れは見られなかった。また、集束イオンビームによるダイレクトエッチングでもポリ乳酸のサブミクロン加工に成功した。X線光電子分光分析によって、加工表面はC=Cの多い表面状態を有していることが分かり、細胞接着性が高い表面を持つ加工体が得られたことが分かった。
