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論文

Organic solvent-free water-developable sugar resist material derived from biomass in green lithography

竹井 敏*; 大島 明博*; 市川 拓実*; 関口 敦士*; 柏倉 美紀*; 古澤 孝弘*; 田川 精一*; 大山 智子; 伊都 将司*; 宮坂 博*

Microelectronic Engineering, 122, p.70 - 76, 2014/06

 被引用回数:23 パーセンタイル:76.96(Engineering, Electrical & Electronic)

環境に配慮した電子線リソグラフィ技術を確立するため、バイオマス由来の糖レジストを開発した。石油由来ではなく、また、アルカリ水溶液や有機溶媒を用いて現像する既存のレジストと違い、水で現像できることが大きな特徴である。75keVの電子線描画装置を用いて加工特性を評価したところ、50-200nmのライン加工に要する照射線量は約7$$mu$$C/cm$$^2$$と低く、化学増幅型レジストと比較しても非常に高い感度を示すことが分かった。開発した糖レジストは23$$^{circ}$$Cの室温環境で純水に60秒浸漬することで現像でき、ドライエッチング耐性(CF$$_4$$ガス)も十分にあることが確認された。

論文

Electroforming of Ni mold for imprint lithography using high-aspect-ratio PMMA microstructures fabricated by proton beam writing

田邊 祐介*; 西川 宏之*; 関 佳裕*; 佐藤 隆博; 石井 保行; 神谷 富裕; 渡辺 徹*; 関口 淳*

Microelectronic Engineering, 88(8), p.2145 - 2148, 2011/08

 被引用回数:9 パーセンタイル:47.41(Engineering, Electrical & Electronic)

Proton Beam Writing (PBW) is a direct-write technique using focused MeV proton beams. Electroforming Ni molds with high-aspect-ratio are developed for imprint lithography using master blocks of PMMA micro-structures fabricated by PBW. In this development, two problems happened as follows; the master blocks with unmelted PMMA remaining into the PMMA micro-structure in the etching process after PBW and the Ni molds with defectively transcriptional structures electroformed on the clear master blocks of its PMMA micro-structure. In this report, the two relations between the PMMA structures and the etching process and between their structures and the electroforming process were individually studied to solve the problems. In the conference, we will present the two problems, the several researches for their solutions and the trial production results of the electroforming Ni molds using the master blocks of the high-aspect-ratio PMMA micro-structures fabricated by PBW.

報告書

ふげん廃止措置技術専門委員会第7回委員会資料集

北端 琢也; 下野 公博; 関口 峰生; 松嶌 聡

JNC TN4410 2003-004, 42 Pages, 2003/03

JNC-TN4410-2003-004.pdf:11.33MB

新型転換炉ふげん発電所(以下「ふげん」という。)は、新型転換炉原型炉としての運転を平成15年3月末で終了する。「ふげん」では、平成10年度以来、核燃料サイクル開発機構法にもとづき、廃止に伴う措置に関する技術の開発及びこれに必要な研究(以下「廃止措置技術開発」という。)を実施している。この廃止措置技術開発を計画・実施するにあたり、「ふげん」を国内外に開かれた技術開発の場として十分に活用するとともに、当該技術開発で得られる成果を有効に活用することを目的として、サイクル機構外の有識者で構成される「ふげん廃止措置技術専門委員会」を平成11年12月に設置し、平成11年12月14日に第1回委員会を開催した。同委員会については、平成12年度以降も引き続き設置し、平成15年2月28日に第7回委員会を開催した。本書は、第7回ふげん廃止措置技術専門委員会において配布された資料集であり、"「ふげん」廃止措置の準備状況"、"運転終了後の設備点検計画"、"原子炉本体解体技術の検討状況"、"重水精製装置Iを用いたトリチウム除去試験計画"についてまとめたものである。

報告書

「常陽」炉運転自動化の検討

佐藤 増雄*; 府川 直弘*; 玉置 哲男*; 岩下 強*; 伊藤 篤*; 関口 峰生*; 山中 俊勝*; 吉田 恵*; 丸山 富美*; 山本 博樹*

PNC TJ9164 88-007, 96 Pages, 1988/11

PNC-TJ9164-88-007.pdf:2.11MB

本報告書は、「常陽」の制御棒操作を自動化することによって、運転員の負担を軽減すると共に、マンマシンインタフェイスの充実と運転操作性の向上を図り、さらに、運転操作面での信頼性、安全性の改善を図ることを目的とし、以下の項目について検討した結果をまとめたものである。尚、本検討は、現状プラント構成に基づくもの(制御棒操作自動化システム)と、蒸気発生器を設置した場合のプラント構成に基づくもの(プラント運転自動化システム)とに分け、検討を実施した。(1)制御棒操作自動化システム、及びプラント運転自動化システム構成の検討、(2)知識工学等新技術適用による制御手法の検討、(3)マンマシンインタフェイス手法、及び異常時処置方法の検討、(4)既設制御棒駆動機構、及び中央制御盤の改造範囲の検討 また、自動化システムを実現するにあたっての課題について検討した。以上の検討により、制御棒操作自動化システムとプラン運転自動化システムの基本構成を設定するとともに、既設制御棒駆動機構の改造を行わなくとも、制御棒操作自動実現に必要な制御棒位置制御が可能である見通しを得た。

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