J-PARC 3GeVシンクロトロン用ピラニ真空計の開発

荻原 徳男; 引地 裕輔; 吉成 洋治*

Journal of the Vacuum Society of Japan, 53(3), p.158 - 161, 2010/03

https://doi.org/10.3131/jvsj2.53.158

J-PARC RCSにおいてTMPの背圧監視に使用しているピラニ真空計の測定下限が0.1Paから2Pa程度に上昇するという変化が起きている。これに対し、今回、Pt線を用いた測定子の開発及び制御方法の見直しを行い、十分実用にたえる真空計を実現した。また、本真空計をRCSに実装して、運転開始から750h経過後も、順調に稼働していることを確認した。本真空計の特徴は、以下のとおりである。(1)フィラメントには、酸化等による感度変化を起こしにくい材料として、Ptを用いた。さらに、直径100m長さ60mm程度のPt線を12本直列に接続した構造とし、測定に有効な電気抵抗(室温時10)を確保しつつ機械強度を著しく向上させた。(2)本真空計の制御には、定電流切換え方式を用いた。出力変化の比較的大きい圧力範囲が狭いという定電流特性に対し、電流値を3段階に切り替えて大きな出力変化のあるところをつなぎ合わせ、0.1から1000Paまでの圧力範囲を精度よく測定できるものとした。(3)本ピラニ真空計の応答時間は30秒程度である。また、測定範囲は、0.05Paから大気圧までと広範囲である。