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論文

Fabrication and characterization of anatase TiO$$_{2}$$ thin films on glass substrate grown by pulsed laser deposition

Choi, Y.; 山本 春也; 梅林 励; 吉川 正人

Solid State Ionics, 172(1-4), p.105 - 108, 2004/08

https://doi.org/10.1016/j.ssi.2004.03.014
 被引用回数：42 パーセンタイル：82.08(Chemistry, Physical)

光触媒能を有する二酸化チタン(TiO$$_{2}$$)結晶は、環境問題を解決する材料として注目されている。アナターゼ構造のTiO$$_{2}$$結晶はルチル構造のそれに比べて、触媒活性が高いことが知られており、アナターゼ構造のTiO$$_{2}$$薄膜を作製する技術を開発することが、今後、極めて重要になると考えられる。本研究では、酸素雰囲気で基板温度を調節することによって、炭化チタンをタゲットとするパルスレーザー蒸着法によりアナターゼ構造のTiO$$_{2}$$薄膜の作製に成功した。薄膜試料の表面状態を原子間力顕微鏡で、その化学結合状態をX線光電子分光法で調べ、それらをTiO$$_{2}$$粉末試料の結果と比較しながら議論した。

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