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論文

Application of the field emitter array to the vacuum measurements

荻原徳男; 菅沼和明; 三代康彦; 小林信一*; 齊藤芳男*

Applied Surface Science, 146(1-4), p.234 - 238, 1999/00

https://doi.org/10.1016/S0169-4332(99)00065-3

被引用回数：7 パーセンタイル：41.04(Chemistry, Physical)

数T以上の強磁場で真空計測を実現するには、熱フィラメントにかわる電子源が必要とされる。本研究では、核融合装置における真空計測の実現をめざして行った電界放出型微小エミッタンスアレイ(FEA)の評価に関するものである。得られた結果は以下のとおり。(1)150 $^{circ}$ C以上でベークアウトを行い、1日程度のならし運転により電流のゆらぎは2%以下となる。(2)200 $^{circ}$ Cで200時間程度のベークアウトを行うことにより500Aの放出電流で放出ガス量を110 $^{-13}$ Pa・m $^{3}$ /s以下とすることができる。また、この熱処理による寿命短縮はない。(3)このFEAを用いて極高真空(10 $^{-10}$ 以下)下での分圧測定を実現した。

論文

Electron emission microscope for use in electron emission sites observations

小林信一*; 水澤正*; 白井賢治*; 齊藤芳男*; 荻原徳男; R.V.Latham*

Applied Surface Science, 146(1-4), p.148 - 151, 1999/00

https://doi.org/10.1016/S0169-4332(99)00055-0

被引用回数：1 パーセンタイル：8.23(Chemistry, Physical)

集積型電界放射電子源が真空マイクロエレクトロニクスの分野において開発されつつある。実用化にあたっては各電子放射サイトにおける電子放出の強化と安定化が重要な要素である。そのためには、電界電子放射サイトの直接観察が重要となる。そこで、Lathamの考案に基づき、平滑(マクロな意味で)なカソード面における電子放出サイトを観察しうる電子顕微鏡を開発した。本論文では、この電子顕微鏡の動作の概要及び集積型電界放射電子源からの電子放出像の観察についてのべる。各サイトからの電子放出は時間的に安定しておらず、全体として、放出サイト数の統計的な安定化作用により放出電流が安定化されることが判明した。