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小池 雅人; 今園 孝志; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 米澤 善央*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; 能登谷 智史*; et al.
AIP Conference Proceedings 1741, p.040045_1 - 040045_4, 2016/07
被引用回数：2 パーセンタイル：61.91(Instruments & Instrumentation)鋼中の微量元素のひとつであるホウ素(B)は焼入れ性を向上させるために重要な元素であり、ppmレベルの検出ならびに詳細な電子構造解析への強い要望がある。著者らはB-K発光(6.76nm)周辺の波長域において従来の金等の金属単層膜を用いたラミナー型回折格子の回折効率を飛躍的に高める新しい物理現象に基づく方法を発見した。この現象は、全反射の起きる斜入射領域において、格子溝上の金属層上にさらに消衰係数の小さい(透明な)高密度材料膜を一定の厚さ形成することにより発現する。この膜は、真空と金属層の中間の屈折率を有することが望ましい。高密度のダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、この基準を満たす有望な候補の一つである。入射角を87
とし波長3.5
8.5nmの領域で、高い回折効率が得られるDLCの最適な厚さと密度を計算で求めた結果、それぞれ、24nmおよび3.1g/cm
であった。このDLC膜は各種の物理的推積法で生成できる。計算の結果、6.76nmでの回折効率は、Niの15.6%やAuの14.1%から大幅に向上し29.7%まで到達することが期待される。
今園 孝志; 小池 雅人; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; 能登谷 智史*; 村野 孝訓*; et al.
AIP Conference Proceedings 1741, p.040043_1 - 040043_4, 2016/07
被引用回数：2 パーセンタイル：61.91(Instruments & Instrumentation)高密度炭素膜、すなわち、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)をNiコート回折格子の表面に積層するだけで、その回折効率を向上できることが分かった。NiとDLCの膜厚はそれぞれ30nmと23nmである。B-K発光線の波長6.76nmにおける入射角87.07
でのDLC/Ni回折格子の回折効率は26.9%であった。これはシミュレーションで得た値(29.7%)の約9割に達し、参照試料であるNi回折格子の16.9%、Au回折格子の12.5%に比べ高い。本測定結果は、汎用軟X線回折格子の回折効率をDLCのオーバーコートによって高効率化できることを示した最初の実験的結果である。
今園 孝志
AIP Conference Proceedings 1741, p.040044_1 - 040044_4, 2016/07
被引用回数：1 パーセンタイル：44.28(Instruments & Instrumentation)これまでの研究で、一定の入射角で24keV領域における反射率を一様に向上させる非周期W/B
C多層膜を考案し、軟X線平面結像分光器で用いるための多層膜回折格子に応用した。これは最上層であるWの直下のBC厚が他のBCに比べ2倍の厚さを持つことに特徴がある。この方法を拡張し、一定の入射角88.53で13.5keV領域をカバーするNi/C多層膜回折格子を開発した。回折格子はラミナー型で、格子密度は2400lines/mm、溝深さは2.8nm、デューティ比は0.5を想定し、多層膜については、Ni/C二層膜の膜厚が5.6nm(最上二層膜は8.4nm)、二層膜厚に対するNi厚が0.5(最上二層膜は0.53)、膜総数が81である。シミュレーションの結果、回折効率は13.5keVの全領域で1%以上であった。これは、1keV近傍を除く高エネルギー側でAu回折格子に比べ著しく高いことが分かった。
