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論文

Control of O$$_{2}$$ adsorption and SiO desorption by incident energy of O$$_{2}$$ molecules in the O$$_{2}$$/Si(001) surface reaction system

寺岡 有殿; 吉越 章隆; 盛谷 浩右

Atomic Collision Research in Japan, No.29, p.68 - 70, 2003/00

Si(001)表面の酸素分子による酸化反応には酸化膜の形成とSiO分子の脱離の二つの反応様式がある。われわれは酸素分子の並進運動エネルギーを変化させることによって、二つの反応様式を選択できることを見いだした。それに関する2002年の研究について報告する。

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