A New helium sniffing device for locating very fine leaks

村上 義夫; 下村 安夫; 阿部 哲也; 小原 建治郎

J.Vac.Sci.Tecnol.,A, 2(4), p.1589 - 1592, 1984/00

大型真空容器の微小な洩れを探す目的で使用されるヘリウムスニッファ法の改良について述べる。ヘリウムスニッファ法は従来実用感度が低いとされていたが、プローブノズルからの空気の吸入量を1Torr・l/S程度まで増加させることにより10Torr・l/Sの微小な洩れも検知できるようになった。新しいヘリウムスニッファ法の装置構成の特徴は、プローブノズルとヘリウムリークディテクタの中間に内径0.6mm、長さ10mのフレキシブルなステンレス鋼製毛細管とモレキュウラーシーブスを用いたソープションポンプ(77K)を直列に挿入したことである。長い毛細管の採用は洩れ探しの作業性をよくすることと空気吸入量を一定に保ち気体を短時間(5秒以内)に輸送するために有効である。またソープションポンプではノズルから吸入したヘリウム、ネオン、水素を除く空気の成分の99%以上が吸着排気される。大気中に存在する約5ppmのヘリウムの影響を回避する方法についても工夫した。