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論文

A New WDS spectrometer for valence electron spectroscopy based on electron microscopy

寺内正己*; 高橋秀之*; 飯田信雄*; 村野孝訓*; 小池雅人; 河内哲哉; 今園孝志; 小枝勝*; 長野哲也*; 笹井浩行*; et al.

JEOL News, 47(1), p.23 - 28, 2012/07

これまで透過型電子顕微鏡用に研究開発されてきた軟X線発光分光装置の分光エネルギー領域を拡張し、TEMだけでなくEPMA/SEMに搭載可能な軟X線発光分析システムの開発を行った。ここでは、50-200eV用に開発した回折格子JS50XLを用いた測定例として、単純金属のMg-L発光, Li-K発光, Al-L発光, Be-K発光を示す。これらのスペクトル強度分布は、価電子の状態密度分布とシャープなフェルミ端を明瞭に示した。また、半導体であるSiと金属であるTiSi $_{2}$ のSi-L発光スペクトルの比較、及び、CaB $_{6}$ とLaB $_{6}$ のB-K発光スペクトルの比較を示す。