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論文

Patterning of SnO$$_{2}$$ thin films by combination of lithographic photoirradiation and pyrolysis of an organotin polymer

玉井 聡行*; 一ノ瀬 暢之; 河西 俊一; 西井 正信; 貴家 恒男; 橋田 勲*; 水野 一彦*

Chemistry of Materials, 9(12), p.2674 - 2675, 1997/00

https://doi.org/10.1021/cm970276e
 被引用回数：18 パーセンタイル：62.4(Chemistry, Physical)

石英基板上に作製したポリ(4-トリメチルスタニルメチルスチレン)フィルムにマスクを通してKrFレーザー光を照射し、キシレンで現像すると架橋反応による不溶化高分子のネガ型パターンが得られた。このパターンを電気炉中500$$^{circ}$$C、2時間熱分解を行うと100nm厚の二酸化スズのパターンが得られた。パターンの大きさは熱分解前後ではほとんど変わらないことが原子間力顕微鏡観察により確認された。二酸化スズ薄膜の熱分解による形成は、未照射フィルムでは起こらないことが示され、現像工程を省いた場合でも二酸化スズのパターンが作成された。このことは高分子の熱分解による二酸化スズ薄膜形成において、二酸化スズ前駆体が架橋構造に閉じ込められることが必要であるものと考えられる。

論文

U.v.-irradiation of thin films of polystyrene derivatives; Formation of carboxylic group and crosslinking from 4-trimethylsilylmethyl substituent

玉井 聡行*; 橋田 勲*; 一ノ瀬 暢之; 河西 俊一; 井上 博夫*; 水野 一彦*

Polymer, 37(24), p.5525 - 5528, 1996/00

https://doi.org/10.1016/S0032-3861(96)00438-7
 被引用回数：17 パーセンタイル：58.99(Polymer Science)

ポリ(4-トリメチルシリルメチルスチレン)(PTMSMS)のスピンコートフィルムの低圧水銀灯(254nm)、KeFレーザー(248nm)による紫外線照射を行ったところ、いずれの光源によっても表面にカルボキシル基が生成し親水性表面を与えた。また、フィルム内部では架橋反応が進行し、照射部分が不溶化した。一方、ポリスチレン、ポリ(4-メチルスチレン)では照射により親水化反応が起こったが、フィルムは易溶化した。これらのPTMSMSの光反応性は励起状態におけるC-Si結合の開裂が主鎖ベンジル位のC-H結合に対して優先することに起因することが結論された。フォトマスクを用いてPTMSMSの親水化反応、架橋反応のマイクロパターニングを試みたとろ、KrFレーザーを光源とした場合において数マイクロメートルのパターンが容易に得られた。これはレーザー光が高い指向性をもつためと考えられる。

論文

Radiation-induced polymerization of styrene derivatives having alkylamino substitutents

吉田 勝; 浅野 雅春; 嘉悦 勲

Eur.Polym.J., 21(9), p.777 - 779, 1985/00

https://doi.org/10.1016/0014-3057(85)90151-X
 被引用回数：0 パーセンタイル：0.02(Polymer Science)

アルキルアミノ置換基をもつスチレン誘導体(CH$$_{2}$$=CH・C$$_{6}$$H$$_{4}$$・CH$$_{2}$$CH$$_{2}$$NR$$_{1}$$R$$_{2}$$)のポリマーは生体適合性素材として高く評価されている。これらのモノマーの放射線重合性については、今まで全く報告されていない。そこで、我々は$$^{6}$$$$^{0}$$Co線源からの$$gamma$$線を用いて、-96$$^{circ}$$Cから25$$^{circ}$$Cの温度範囲でのモノマーの重合性について検討した。例えば、(2-isopropylaminoethyl)-4-vinylbenzene(IPVB)のガラス転移温度(Tg)は-94$$^{circ}$$Cであるが、-96$$^{circ}$$C、-78$$^{circ}$$C、-55$$^{circ}$$C、-37$$^{circ}$$C、-24$$^{circ}$$C、0$$^{circ}$$Cそして25$$^{circ}$$Cの温度下、4$$times$$10$$^{6}$$rad照射した時のIPVBの重合収率は各々2.4%、27.4%、39.9%、35.7%、36.4%、54.8%、そして71.3%となった。この線量でのポリマーはやわらかくガム状であったが10$$^{7}$$rad以上照射したポリマーはかたく、透明な状態を呈した。これらの結果と、粘度、IRのデーターから重合メカニズムについて考察した。

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