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仙石 盛夫; 松田 俊明; 松本 宏; 阿部 哲也; 大塚 英男; 新井 貴; 大麻 和美; 山本 新; 小田島 和男; 木村 晴行; et al.
Journal of Nuclear Materials, 93-94, p.178 - 184, 1980/00
被引用回数:25 パーセンタイル:89.06(Materials Science, Multidisciplinary)熱分解黒鉛、微粉状炭素面およびメタン放電により得られた炭素面のスパッタリング特性が調べられた。アークの発生は、熱分解黒鉛とメタン放電により得られた炭素面においては不安定な放電のときだけ、微粉状炭素面においては定常な放電でも、それぞれ観測された。熱分解黒鉛の化学的スパッタリングは、500C以上の高温で水素原子を照射することにより抑制されることが示された。 熱分解黒鉛をリミターとして、RF-スパッタリング法で壁材を炭素コーティングして実験を行なった結果、非常に低い安全係数の閉じ込め特性の良いプラズマが得られた。得られた炭素壁は純粋で、六百回以上の放電の後でも汚れなかった。