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井川 勝市
J.Less-Common Met., 44, p.207 - 213, 1976/00
被引用回数：61400
C以下のガス流中に置いた黒鉛板上へのジルコニウムと炭素の同時化学蒸着を調べた。400-800Cのジルコニウムスポンジと臭素蒸気との反応を蒸着領域に直結した反応領域で行なわせ、この反応で連続発生する気体のジルコニウム臭化物をジルコニウム源とした。炭素源としてはメタンを選んだ。ジルコニウム蒸着は炭化ジルコニウムを生成するための炭素または黒鉛の存在が必要であった。ジルコニウム蒸着は水素供給によってもメタン供給によっても増加した。炭素蒸着は水素供給によっては減少したが、臭化供給すなわち四臭化ジルコニウム蒸気の供給によって増加した。これらの実験データに基づいて同時蒸着の機構を考察した。
