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江草 茂則; 岩沢 直純*
機械の研究, 45(5), p.602 - 606, 1993/00
平成3年度に開始した「圧電性薄膜の形成に関する研究」(特別基礎研究)において、現在迄に得られている研究成果、及び、今後の研究計画について紹介した。先ず、構造材料の表面に圧電性薄膜を形成する方法、及び、その薄膜の圧電特性に影響する諸因子について解説した。次に、この圧電性薄膜を構造材料と一体化した振動センサとして利用する方法について解説した。今後の研究計画に関しては、現在迄に得られている圧電定数をさらに向上させるとともに、カバーすべき周波数領域を現在の低周波領域から超音波領域にまで拡張する計画について記述した。筆者らの圧電性薄膜は、振動センサのみならず亀裂センサ(AEセンサ)としても利用できるので、その将来の応用分野についても解説した。
江草 茂則; 岩沢 直純*
インテリジェント材料, 2(3), p.22 - 27, 1992/00
平成3年度に開始した「圧電性薄膜の形成に関する研究」(特別基礎研究)において、現在迄に得られている研究成果、及び、今後の研究計画について紹介した。先ず、構造材料の表面に圧電性薄膜を形成する方法で、及び、その薄膜の圧電特性に影響する諸因子について解説した。次に、この圧電性薄膜を構造材料と一体化した振動センサとして利用する方法について解説した。今後の研究計画に関しては、現在迄に得られている圧電定数をさらに向上させるとともに、カバーすべき周波数領域を現在の低周波領域から超音波領域にまで拡張する計画について記述した。筆者らの圧電性薄膜は、振動センサのみならず亀裂検出センサ(AEセンサ)としても使用できるので、その将来の応用分野についても解説した。