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論文

Many-beam effects on thickness fringes in a silicon wedge crystal

出井 数彦; 西田 雄彦; 古野 茂実

J.Electron Microsc., 22(4), p.329 - 336, 1973/04

くさび形結晶の電顕像で観察される等厚干渉縞は結晶中で励起される電子波の強度が「うなり」を生じているために起こるのであるが、この「うなり」の固期$$xi$$gは物質固有の量として重要な意味をもち、一方応用面でも結晶の厚さの測定に利用されている。通常の100KV級の電顕の場合には$$xi$$gの値として2波近似による計算結果が適用出来る場合が多いが1000KV級の超高圧電顕では多波効果が避けられなくなる。本論文ではシリコン単結晶の等厚干渉縞を超高圧電顕で、色々な回折条件の下で観察して、$$xi$$gに対する多波効果を実験的に調べ、電子回折動力学理論多波近似による$$xi$$gの計算値と比較した。その結果両者の間の一致はかなりよいことが示された。

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