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論文

グロー放電を利用した炭素膜コーティング

阿部 哲也; 廣木 成治; 村上 義夫; 加藤 由尚*

真空, 30(5), p.382 - 386, 1987/05

https://doi.org/10.3131/jvsj.30.382

1目的・概要 核融合第一壁への低Z材料コーティング技術であるカーボニゼーションの基礎実験を行った。原料ガス(メタン,アセチレン)を流しながらグロー放電させて膜を堆積し、その速度を調べ、同時に膜の除去方法についても放電ガスを変えて除去速度を調べた。 2結果 Ptotal=0.5Pa、i=20$$mu$$A/cm$$^{2}$$で(CH$$_{4}$$)≒0.1$$mu$$m/hr、(C$$_{2}$$H$$_{2}$$)≒0.25$$mu$$m/hrであった。H$$_{2}$$希釈したガスでは堆積速度は原料ガス分圧(ガス供給速度)に比例し、また放電電流密度に比例することが判明した。炭素膜のエッチング速度は放電ガスによって異なり O$$_{2}$$:CO$$_{2}$$:H$$_{2}$$=26:10:1となった。O$$_{2}$$ではその速度は0.1~0.2$$mu$$m/hrであった。 堆積膜は干渉色を示した。CH$$_{4}$$膜は電気絶縁性であり、C$$_{2}$$H$$_{2}$$膜は電気伝導性であった。

論文

Chemical structure of polyacetylene prepared by $$gamma$$-irradiation in the plastic crystalline state

西井 正信; 林 香苗; 栗山 将; 岡村 誠三*

Reports on Progress in Polymer Physics in Japan, 26, p.555 - 556, 1983/00

アセチレンの放射線固相重合を試み、得られたポリマーの化学構造を主として赤外線吸収スペクトルより明らかにした。アセチレンは融点-81.8$$^{circ}$$Cと相転移点-124$$^{circ}$$Cの間の温度では柔粘性結晶相となることが知られているが、この相状態での放射線照射による重合性はこれまで調べられていない。低温結晶相(-196$$^{circ}$$C)および液相(-72$$^{circ}$$C)との比較から柔粘結晶相(-95$$^{circ}$$C)での重合速度は液相での速度と同等であることを見出した。生成ポリマーの分析からは、柔粘性結晶相で得られたポリアセチレンは、他の相状態で得られたポリマーよりも、トランス構造の共設二重結合の連鎖が長いことが明らかとなった。

論文

Effect of acetylene on the $$gamma$$-radiation-induced ploymerization of ethylene

三井 光; Hosoi, Fumio*; 萩原 幸; 鍵谷 勤*

Journal of Polymer Science Part A-1, 6(10), p.2881 - 2888, 1968/00

抄録なし

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