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山崎 大; 丸山 龍治; 春日井 好己; 原田 正英; 曽山 和彦; 林田 洋寿*; 永野 幹典*; 田畑 雄壮*; 光嶋 直樹*; 山村 和也*
no journal, ,
数値制御ローカルウェットエッチング法による超精密基板加工法と高性能スーパーミラー成膜による非球面スーパーミラーを開発している。400mmの長尺楕円基板にm=4スーパーミラーを成膜することで1次元楕円スーパーミラーを製作し0.128mmの集光幅、集光ゲイン52を達成した。また、2次元集光を目的としてK-Bミラー配置を構築することで0.5mm径の集光に成功した。