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論文

Elution of residual ions with etching of heavy ion-injected polyimide

古牧 睦英; 石川 二郎; 桜井 勉; 松本 安世*

Radiat. Meas., 23(4), p.725 - 729, 1994/00

 被引用回数:0 パーセンタイル:0.00(Nuclear Science & Technology)

一定図形のマスク越しにポリイミドに重イオンを多重照射しエッチングすると、一定深さの溝を持つ図形が形成される。重イオン照射・エッチング法による微細加工が可能となる時、図形形成後の溝中に残存するイオン量を知ることが重要となる。特に絶縁体のポリイミドが電子部品に応用される時、絶縁性能が影響される。しかし、現在、イオンを一個づつポリイミド中で計測する方法はない。そこで、注入イオンを放射化し、エッチングに伴って溶出して残るポリイミド内放射能を測定し、エッチングと注入イオン、残存イオンとの関係を調べた。~16$$^{2}$$/cm$$^{2}$$のイオン注入に際しては、イオンの飛程の深さの計算値より10%余分に溶解すると、残存放射能は検出感度以下となることが分った。

報告書

A Positron-sensitive Start Detector for Time-of-flight Measurement

池添 博; 磯山 悟郎*; 鹿園 直基

JAERI-M 7800, 15 Pages, 1978/08

JAERI-M-7800.pdf:0.47MB

飛行時間法に使われる位置検出の可能な時間零検出器を製作した。重イオン核反応生成核が、うすいカーボン膜を通過する際に、膜より放出される二次電子を、磁場によって180$$^{circ}$$方向にトランスポートし、チャンネルプレートで、10$$^{7}$$倍に増やし、位置検出を行なうために置かれた抵抗プレートに当てる。抵抗プレートの両端より位置信号を取り出し、さらに、抵抗プレートのアース側に誘起される電流パルスから時間信号を、50$$Omega$$の抵抗を通して取り出す。このような方法で、$$^{2}$$$$^{4}$$$$^{1}$$Amソースからの$$alpha$$粒子を使って、時間分解能121psec(FWHM)、位置分解能0.28mm(FWHM)がそれぞれ得られた。この検出器では、時間、位置分解能共にカーボン膜から出る二次電子の放出角度の大きさに強く依存しており、この角度を実質的に小さくする方法が論じられた。

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