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山華 雅司*; 江島 猛*; 西堂 雅博; 荻原 徳男; 菅井 秀郎*
Japanese Journal of Applied Physics, 32(9A), p.3968 - 3974, 1993/09
被引用回数：15 パーセンタイル：62.51(Physics, Applied)2種類のボロン水素化物、デカボラン及びジボランをボロン源とする2種類のボロナイゼーション、熱分解法及びプラズマCVD法、を実施し、作製したボロン膜の特性(水素含有量、酸素ゲッター作用、水素リサイクリング特性)について調べた。作製したボロン膜の水素含有量については、熱分解法の方が、プラズマCVD法により、含有量が多くなること、また、両者共壁温が高くなる程、含有量が低減することが明らかになった。また、デカボランで作製したボロン膜について、同じ壁温で作製する限り、熱分解法とプラズマCVD法との間に、酸素ゲッター作用に違いのないことが判明した。さらに、同じ壁温で作製したボロン膜の水素の取り込みについては、デカボランの方がジボランより約3倍程度大きくなることが明らかになった。
SiCl小林 紀昭; 井川 勝市; 岩本 多實
Journal of Crystal Growth, 28(3), p.395 - 396, 1975/03
被引用回数：21CHSiClの熱分解によるSiCの化学蒸着の機構を調べるために固定基体による蒸着実験を行なった。過剰炭素が同時蒸着される機構を既報のデータとの比較によって考察した。
小山 勇人; 木島 惇; 下条 裕人; 中川 拓哉; 大和田 光宏; 曽根 智之
no journal, ,
日本原子力研究開発機構(JAEA)では、ウランで汚染された使用済みリン酸トリブチル/n-ドデカンや使用済みフッ素油が保管されている。本研究の目的は、我々が開発している水蒸気アシスト熱分解システムを用いこれらの廃棄物を減容化し、安定な化学形態に変換し、保管量を削減することである。本件では、いくつかの有機性廃棄物の処理結果を報告するとともに、本システムの腐食防止法について報告する。
