JAEA
  • help
  • PC | SP
  • JP | EN
          
検索対象：     
報告書番号：
※ 半角英数字
 年 ～ 
 年
全てクリア
検索結果：　1 件中 1件目～1件目を表示
  • 1

発表形式

Initialising ...

選択項目を絞り込む

掲載資料名

Initialising ...

発表会議名

Initialising ...

筆頭著者名

Initialising ...

キーワード

Initialising ...

使用言語

Initialising ...

発行年

Initialising ...

開催年

Initialising ...

選択した検索結果をダウンロード

論文

全反射軟X線蛍光分光による多層膜表面・界面の拡散層の研究

今園 孝志; 柳原 美広*

Photon Factory News, 22(3), p.18 - 22, 2004/11

全反射臨界角を利用して励起した軟X線蛍光分光を用いて、Fe/Si多層膜の表面から数nmの深さの範囲内にSiO$$_2$$が分布することを明らかにした。これは、最上Fe層に最も近い拡散層であるFe$$_3$$Si層の酸化によって生成したもので、結果的にFe$$_3$$Si層厚は減少する。このことは臨界角から十分離れた入射角で励起した通常の軟X線蛍光分光では得られない全く新しい知見であり、全反射軟X線蛍光分光が表面及び界面にある物質の化学結合状態の分析法として極めて有用であることを示している。

1 件中 1件目～1件目を表示
  • 1