Gas permeation through CVD modified anodic alumina membrane

小貫 薫; 名越 正泰*; 中島 隼人; 清水 三郎

J. Chem. Eng. Jpn., 30(2), p.359 - 362, 1997/00

https://doi.org/10.1252/jcej.30.359

多孔質陽極酸化アルミナ膜の表面をテトラエチルオルソシリケートの熱分解を利用した化学蒸着法により修飾した。反応は酸素共存下、380Cにて行った。得られた膜は、He及びHに対して高い選択的透過性を示した。透過速度は高温ほど増大し、He及びHの100~315Cにおける見かけの活性化エネルギーは各々12及び13kJ・molであった。315CにおけるHe及びHの透過速度は各々210及び710mol・m・s・Paであり、Nの透過速度は110mol・m・s・Pa以下であった。SEM観察、EDX及びXPS分析の結果、蒸着は細孔内部にて進行しており、蒸着物はケイ素酸化物と炭素から成ることが認められた。蒸着量は細孔表面にて最も多く、細孔内部にて緩やかに減少した。表面から約50mの深さまで蒸着物の存在が認められたが、ガス透過選択性の発現に寄与する比較的ち密な蒸着層の厚さは数m程度と考えられた。