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論文

Development of millimeter-wave planar antennas using low-loss materials

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 嶋津 博士*; 坂田 栄二*

Japanese Journal of Applied Physics, 49(10), p.106506_1 - 106506_5, 2010/10

 被引用回数:0 パーセンタイル:0(Physics, Applied)

ミリ波車載レーダやマイクロ波・ミリ波イメージングシステムの高性能化において、効率の良い小型平面アンテナの開発が不可欠である。アンテナ基板としては、低損失材料が有効であり、フッ素樹脂(PTFE)材料が使用されているが、フッ素樹脂基板と銅などの導体パターンの付着力が低いという問題があった。そこで、フッ素樹脂の表面を放射線グラフト重合により親水化処理を行うことで、低損失アンテナの作製を試みた。グラフト処理をしたサンプルに対して銅箔をスパッタし、剥離強度の測定を行ったところ、未処理のPTFEと比較して、約4倍程度の剥離強度の向上することができた。また、グラフト処理前後における比誘電率は大きく変化しないことから、グラフト重合による表面処理は、ミリ波などのアンテナ作製に有効であることがわかった。

論文

Development of millimeter-wave devices using grafted-PTFE films

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 坂田 栄二*

JAEA-Review 2008-055, JAEA Takasaki Annual Report 2007, P. 42, 2008/11

ミリ波車載レーダやマイクロ波・ミリ波イメージングシステムの高性能化において、効率の良い小型平面デバイスの開発が不可欠である。アンテナ基板として、低損失材料を使用することが有効であり、その最適のものとしてフッ素樹脂(PTFE)材料の使用を図ってきた。その際に、フッ素基板と導体パターンの付着力が低いという問題があげられた。この問題に関して、フッ素樹脂材料は親水性が低いという性質を持っており、この性質が原因であると考えられた。そこで、PTFEの表面を放射線グラフト処理することで、低損失高周波デバイスの実現を図った。PTFEにアクリル酸をグラフトした後、銅箔の付着を行い、剥離強度の測定を行ったところ、未処理のものと比較して約4倍程度の改善を図ることができた。また、グラフト処理前、後における比誘電率の測定を実施し、大きく変化しないことを確認した。さらに、従来基板及び表面処理品を用いたマイクロストリップ線路による、特性評価を実施し、ロス率が1%以内であったことから、グラフトによる表面処理品が有効であることを確認した。

論文

Development of planar devices using low-loss materials

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 坂田 栄二*

Proceedings of 11th IEEE International Conference on Communication Technology (ICCT 2008), 3 Pages, 2008/11

ミリ波車載レーダやマイクロ波・ミリ波イメージングシステムの高性能化には、効率の良い小型平面デバイスの開発が不可欠であり、アンテナ基板として、低損失材料としてフッ素樹脂(PTFE)材料の使用を図ってきた。しかし、フッ素基板と導体パターンの付着力が低いことと基板上に形成可能な導体回路パターンの形状に関する問題があった。そこで、PTFEの表面に放射線グラフト処理を行うことで、低損失高周波デバイスの実現を図った。その結果、PTFEと銅箔の剥離強度を約4倍改善できた。

論文

Development of low-loss millimeter-wave devices using fluororesin

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 立石 尚之*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 坂田 栄二*

JAEA-Review 2007-060, JAEA Takasaki Annual Report 2006, P. 37, 2008/03

ミリ波車載レーダやイメージングシステムの高性能化には効率の良い小型平面アンテナの開発が不可欠である。アンテナを形成する基板に低損失の材料を使用することが有効であり、フッ素樹脂(PTFE)基板が用いられている。フッ素基板は他の材料に比べて誘電率や誘電正接といった電気的な特性が良い反面、親水性が低いため、フッ素基板と導体パターン(一般的に銅)の付着力が低いという問題があった。そこで、フッ素基板の表面改質を行うために、グラフト重合法により親水性基の導入を行い、物性評価を行った。その結果、カルボン酸を付与させた試料に対してスパッタリング法により銅箔の付着を行ったのち、90度剥離試験法を用いて剥離強度の測定を行ったところ、PTFEにおいて、0.4kgf/cm(未処理品)に対して、約1.0kgf/cm(放射線グラフト重合処理品)となり、銅とPTFEの付着力を改善することができた。

論文

Advanced fabrication method of planar components for plasma diagnostics

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 瀬古 典明; 玉田 正男; Shen, Z.*; Yang, L.*; Domier, C. W.*; Luhmann, N. C. Jr.*; 坂田 栄二*

Plasma and Fusion Research (Internet), 2, p.S1042_1 - S1042_4, 2007/11

アンテナ材料をミリ波適応材料として作製するために、低電力損失の特性を有するフッ素高分子を用いてその評価を行った。これまで、銅との蒸着面とフッ素高分子表面との接着性が弱いという問題が挙げられていた。この問題を解決するために、放射線グラフト重合によりフッ素基板表面に親水性モノマーであるアクリル酸を導入し、フッ素高分子表面の改質を図った。その結果、銅と基板との接着率を1.5倍に向上させることができた。

論文

Surface treatment of poly(tetrafluoroethylene) and perfluoroethylene-propylene by radiation grafting

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 坂田 栄二*; 近木 祐一郎*

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1, 45(12), p.9244 - 9246, 2006/12

 被引用回数:5 パーセンタイル:20.87(Physics, Applied)

Poly(tetrafluoroethylene)(PTFE)やperfluoroethylene-propylene(PFEP)などのフッ素高分子は電子デバイスとして、誘電率が小さく電気的特性が優れているが、銅などの金属導体に対する接着力が弱いため、アンテナ材料として産業化するためには多くの問題がある。導体に凹凸を付けてからフッ素樹脂基板に貼り付けてアンテナを製作する方法もあるが、導体表面の凹凸による電力損失のため、周波数の低い領域での使用に限られるなど大きな障害となっている。この問題を解決するため、放射線グラフト重合技術を適用し、銅と相性の良い親水性基をフッ素樹脂基板に導入した。その結果、導体との接着強度が10.3N/cm(PTFE), 14.5N/cm(PFEP)に向上し、反応前後でもフッ素樹脂基板の誘電特性にはほとんど変化がないことがわかった。これにより、フッ素樹脂本来の低損失特性を維持した高性能アンテナ基板が製作できる見通しが得られた。

論文

Development of low-loss millimeter-wave antennas on fluorine substrate using electro-fine-forming fabrication

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 坂田 栄二*; 近木 祐一郎*

Proceedings of Asia-Pacific Microwave Conference 2006 (APMC 2006), Vol.1 (CD-ROM), p.2031 - 2033, 2006/12

Poly(tetrafluoroethylene)(PTFE)は、誘電率が小さく電気的特性が優れ、ミリ波アンテナ材料として有望な材料である。しかし、さまざまな金属に対して接着力が弱いという性質を併せ持つ。そこで、放射線グラフト重合によりPTFEの材料表面の改質を図った。その結果、反応前後の誘電率が未処理の2.1に対し2.2となり、フッ素樹脂基板の誘電特性を損なわないことがわかった。また、銅を蒸着したPTFE膜の接着強度は未処理の3.9N/cmから10.3N/cmに向上することがわかった。

口頭

放射線グラフト重合によるフッ素樹脂の表面処理

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 坂田 栄二*; 玉田 正男; 瀬古 典明

no journal, , 

ミリ波車載レーダやイメージングシステムの高性能化には効率の良い小型平面アンテナの開発が不可欠である。アンテナを形成する基板に低損失の材料を使用することが有効であり、その最適のものとしてフッ素樹脂基板の使用を図ってきた。フッ素基板は他の材料に比べて誘電率や誘電正接といった電気的な特性が良い反面、親水性が低いため、フッ素基板と導体パターン(一般的に銅)の付着力が低いという問題があった。そこで、フッ素基板の表面改質を行うために、グラフト重合法により親水性基の導入を行い、物性評価を行った。その結果、カルボン酸を付与させた試料に対してスパッタリング法により銅箔の付着を行ったのち、90度剥離試験法を用いて剥離強度の測定を行ったところ、PTFEにおいて、0.4kgf/cm(未処理品)に対して、約1.0kgf/cm(放射線グラフト重合処理品)と付着力の改善を図ることができた。

口頭

Development of low-loss millimeter-wave antennas using electro-fine-forming fabrication

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 坂田 栄二*

no journal, , 

アンテナ素材としては、誘電率が小さく、電気的特性が優れたフッ素樹脂基板は、導体パターン(一般的に銅)との接着力が弱いため、これまでは導体に凹凸を付けてからフッ素樹脂基板に貼り付けてアンテナを製作してきた。しかし、このような方法によって製作したアンテナは、導体表面の凹凸による電力損失のため、周波数の低い領域での使用に限定されている。この問題を解決するため、放射線によるグラフト重合技術を適用し、銅と相性の良い親水性基をフッ素樹脂基板に導入することで、導体表面の凹凸処理なしにアンテナ基板を製作することに成功し、接着強度も未処理基板の2.5倍にあたる1.0kgf/cmに向上した。

口頭

フッ素樹脂の表面処理と低損失平面アンテナの開発

伊藤 直樹*; 近木 祐一郎*; 立石 尚之*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 坂田 栄二*

no journal, , 

ミリ波車載レーダーやマイクロ波・ミリ波イメージングシステムの高性能化において、効率の良い小型平面アンテナの開発が不可欠である。アンテナ基板として、低損失材料を使用することが有効的であることから、誘電損失などの電気的特性に優れたフッ素樹脂基板の使用を試みた。フッ素基板表面の親水化を行うために、放射線グラフト重合法により表面にカルボン酸を導入し、接着強度の向上を図ったところ、90度剥離試験の結果から、これまでに向上して得ていた2.5倍の接着強度をさらに1.6倍に向上し、未処理品(グラフト処理を施していないPTFT)の0.4kgf/cmに対して4倍の1.64kgf/cmの接着強度に向上することができた。

口頭

フッ素材料を用いた低損失高周波デバイスの開発

伊藤 直樹*; 坂田 栄二*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 立石 尚之*; 近木 祐一郎*; 間瀬 淳*

no journal, , 

ミリ波車載レーダやイメージングシステムの高性能化には効率の良い小型平面アンテナの開発が不可欠である。アンテナを形成する基板に低損失の材料を使用することが有効であり、フッ素樹脂(PTFE)基板が用いられている。フッ素基板はほかの材料に比べて誘電率や誘電正接といった電気的な特性が良い反面、親水性が低いため、フッ素基板と導体パターン(一般的に銅)の付着力が低いという問題があった。そこで、フッ素基板の表面改質を行うために、グラフト重合法により親水性基の導入を行い、物性評価を行った。その結果、カルボン酸を付与させた試料に対してスパッタリング法により銅箔の付着を行ったのち、90度剥離試験法を用いて剥離強度の測定を行ったところ、PTFEにおいて、0.4kgf/cm(未処理品)に対して、約1.0kgf/cm(放射線グラフト重合処理品)となり、銅とPTFEの付着力を改善することができた。

口頭

微細加工技術を用いた平面デバイスの開発

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 松村 知宏*; 嶋津 博士*

no journal, , 

マイクロ波・ミリ波プラズマイメージングシステムの高性能化やミリ波車載レーダにおいて、効率の良い小型平面デバイスの開発が不可欠である。そこで、放射線グラフト重合によりアンテナ基板の原料であるフッ素基板表面にアクリル酸を導入し、表面改質を図った。グラフト重合処理後のフッ素基板と銅箔との剥離強度の測定を行った結果、処理前の3.9N/cmに対して、約16N/cmに付着力の改善を図ることができた。また、グラフト処理前後における比誘電率の測定を空洞共振器法により測定し、処理前後で大きく変化しないことを確認した。これは、材料の電気的特性を大きく変化させず、表面の極めて薄い部分に官能基を導入できたことになる。

口頭

先進的加工技術を用いた平面デバイスの開発

伊藤 直樹*; 間瀬 淳*; 近木 祐一郎*; 瀬古 典明; 玉田 正男; 松村 知宏*; 嶋津 博士*; 坂田 栄二*

no journal, , 

マイクロ波・ミリ波計測システムの高性能化やミリ波車載レーダーの普及のために、効率の良い小型平面デバイスの開発が不可欠である。アンテナ基材として、低損失材料であるポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を基材として使用することが不可欠であるため、この材料の表面を放射線グラフト重合技術により改質した。その結果、未処理のPTFEと銅箔との接着強度が3.9N/cmであるのに対し、約16N/cmにまで付着力を向上することができた。グラフト処理前後における比誘電率も大きく変化しないことから、PTFEの有する電気的特性を保持した状態で表面の改質に成功したと言える。

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