Structural change of a hydrogenerated carbon film upon heating

水素化炭素薄膜の加熱処理による構造変化

Zhang, Z.; Narumi, Kazumasa; Naramoto, Hiroshi

プラズマCVD法により、水素を含有した準安定な炭素薄膜を作製して、その熱処理挙動を、X線回折法,ラマン分光法及び光吸収分光法により解析した。その結果、水素量の変化に対応して、高温処理により密度が増加した。一方光学バンドギャップ値は、400度での処理の後は、2.55eVから1.1eVへと半減した。これは炭素膜の黒鉛結晶化と関係があることを示した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Journal of Physics; Condensed Matter
巻	:	13
号	:	22
ページ数	:	p.L425 - L481
発行年月	:	2001/06
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キーワード	:	Carbon Film; Hydrogen; Crystallization

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登録番号 : A20010181
抄録集掲載番号 : 290991
論文投稿番号 : 18494

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