Modification of carbon related films with ion beams

イオンビームを用いた炭素系薄膜の表面改質

楢本洋; Xu, Y.; 鳴海一雅; Zhu, X.; Vacik, J.; 山本春也; 宮下喜好*

Naramoto, Hiroshi; Xu, Y.; Narumi, Kazumasa; Zhu, X.; Vacik, J.; Yamamoto, Shunya; Miyashita, Kiyoshi*

イオンビーム蒸着法、及びイオンビーム誘起蒸着法を用いて合成した炭素薄膜に関する、構造状態評価、及び表面形態評価に関する報告である。イオンビーム蒸着からは、非晶質膜中に混在するナノダイアモンドが見つかり、DLC膜の研究者にインパクトを与えた。一方イオンビーム誘起蒸着法でも、イオン電流の値を大きくすると、高圧下で観察されているHCPナノダイアモンドの生成を確認することができた。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	JAERI-Review 2001-039, TIARA Annual Report 2000
巻	:
号	:
ページ数	:	p.183 - 185
発行年月	:	2001/11
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	Carbon; Film; IBD; IBAD; Diamond; Raman

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.11484/jaeri-review-2001-039
研究データの公開先DOI	:	本成果にかかわる研究データのリンクです。
使用施設	:	TIARA(イオン照射研究施設)
広報プレスリリース	:
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登録番号 : A20010300
抄録集掲載番号 : 47000329
論文投稿番号 : 21007

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