Tuning surface morphologies of ion-assisted diamondlike carbon film on the nanometer scale

イオン誘起ダイアモンド状炭素薄膜におけるナノメートルサイズの表面形態制御

Zhu, X. D.; Naramoto, Hiroshi; Xu, Y.; Narumi, Kazumasa; Miyashita, Kiyoshi*

基板温度をパラメータにして、C60蒸着と同時に1.5keVNeイオン照射を行い、得られた炭素薄膜の結合状態をラマン分光法で、表面形態の特徴を原子間力顕微鏡で評価した。その結果、以下の結論を得た。表面形態の変化は、イオンスパッタリングとC60の同素体変換過程による蒸着との競合過程で特徴付けられ、ナノメートルサイズでの微細構造の制御が可能になるを示した。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Journal of Chemical Physics
巻	:	116
号	:	23
ページ数	:	p.10458 - 10461
発行年月	:	2002/06
発表会議名	:
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キーワード	:	イオン誘起蒸着; 炭素薄膜; 表面形態制御; 原子間力顕微鏡; ラマン分光

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論文URL	:	https://doi.org/10.1063/1.1473827
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InCites™	:	パーセンタイル：14.82 分野：Chemistry, Physical
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登録番号 : A20020025
抄録集掲載番号 : 310729
論文投稿番号 : 20242

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