検索対象:     
報告書番号:
※ 半角英数字
 年 ~ 
 年

Tuning surface morphologies of ion-assisted diamondlike carbon film on the nanometer scale

イオン誘起ダイアモンド状炭素薄膜におけるナノメートルサイズの表面形態制御

Zhu, X. D.; 楢本 洋; Xu, Y.; 鳴海 一雅; 宮下 喜好*

Zhu, X. D.; Naramoto, Hiroshi; Xu, Y.; Narumi, Kazumasa; Miyashita, Kiyoshi*

基板温度をパラメータにして、C60蒸着と同時に1.5keVNeイオン照射を行い、得られた炭素薄膜の結合状態をラマン分光法で、表面形態の特徴を原子間力顕微鏡で評価した。その結果、以下の結論を得た。表面形態の変化は、イオンスパッタリングとC60の同素体変換過程による蒸着との競合過程で特徴付けられ、ナノメートルサイズでの微細構造の制御が可能になるを示した。

no abstracts in English

Access

:

- Accesses

InCites™

:

パーセンタイル:15.36

分野:Chemistry, Physical

Altmetrics

:

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.