Characterization of single-crystalline Nb films on sapphire by RBS/channeling technique

RBS/チャネリング法による単結晶Nb膜の構造解析

Yamamoto, Shunya; Naramoto, Hiroshi; Narumi, Kazumasa; Tsuchiya, Bun*; Aoki, Yasushi; Kudo, Hiroshi*

電子ビーム真空蒸着法によりサファイア単結晶基板上に基板温度及び成膜速度を制御してNb膜のエピタキシャル成長を行った。RBS/channeling法により種々の基板温度で製作した膜の構造解析を行い、Nb単結晶薄膜の成膜条件を明らかにした。また、表面近傍の結晶の状態を調べるために、イオン照射により誘起された2次電子のエネルギー分析及び2次電子の角度マッピング測定を試みた。2次電子分析法がエビタキシャル膜に非常に有効な手法であることがわかった。さらに30nm~100nmの膜厚でNn単結晶膜を成膜し超伝導遷移温度の膜厚依存性を調べた。

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使用言語	:	English
掲載資料名	:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
巻	:	134
号	:	3-4
ページ数	:	p.400 - 404
発行年月	:	1998/00
発表会議名	:
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キーワード	:	Nb; 単結晶膜; RBS-チャネリング; イオンビーム解析法

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.1016/S0168-583X(97)00725-8
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InCites™	:	パーセンタイル：40.65 分野：Instruments & Instrumentation
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登録番号 : A19970488
抄録集掲載番号 : 260472
論文投稿番号 : 15497

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