V ion implantation followed by thermal annealingVイオン注入及び熱処理したサファイアの改質された構造Naramoto, Hiroshi; Aoki, Yasushi; Yamamoto, Shunya; Narumi, Kazumasa
結晶性の酸化アルミニウムであるサファイアに遷移金属をイオン注入した時に生ずる照射欠陥の生成と注入元素との相関について、深さ依存性の測定結果に基づいて討論する。更にこれらの微細構造変化に対応する物理的/化学的性質の例についても報告する。
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使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
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巻 |
: | 253 |
号 |
: | 1-2 |
ページ数 |
: | p.114 - 120 |
発行年月 |
: | 1998/00 |
発表会議名 |
: | Int. Conf. on Modification of Ceramics and Semiconductors by Ion Bombardment |
開催年月 |
: | 1997/05 |
開催都市 |
: | Italy |
開催国 |
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キーワード |
: | Ion Implantation; Sapphire; Ion Beam Analysis; Materials Properties |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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