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Tungsten self-sputtering yield with different incidence angles and target temperature

異なる入射角及び温度条件下におけるセルフスパッタリング収率

Bandourko, V.*; 神保 龍太郎*; 中村 和幸 ; 秋場 真人

Bandourko, V.*; Jimbo, Ryutaro*; Nakamura, Kazuyuki; Akiba, Masato

ITER用プラズマ対向材料として有望なタングステン材料のセルフスパッタリング収率の角度及び温度依存性について報告する。主な内容は、入射角が70度近辺にスパッタリング収率の最大値を持つこと、より高温でスパッタリング収率が増加することである。特に、温度依存性に関しては、従来からの予測と異なるものであり、そのメカニズムについても報告する。

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パーセンタイル:32.94

分野:Materials Science, Multidisciplinary

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