紫外線照射による表面清浄化の実験

Experiment on surface cleaning by ultra violet ray irradiation

Hiroki, Seiji; Abe, Tetsuya; Murakami, Yoshio; not registered; not registered; not registered

真空容器内壁の清浄処理のため、外部からベーキングする方法に代えて、容器内に低圧水銀ランプを取付け、内壁に紫外線を照射する方法を試みた。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空
巻	:	31
号	:	10
ページ数	:	p.850 - 853
発行年月	:	1988/10
発表会議名	:
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キーワード	:	紫外線照射

特許データ	:
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論文URL	:	https://doi.org/10.3131/jvsj.31.850
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : A19870427
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 9029

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