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研究開発報告書類（JAEA-Research等）学会誌等掲載論文口頭発表特許

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論文

紫外線照射による表面清浄化の実験

廣木成治; 阿部哲也; 村上義夫; 木下昭一*; 長沼孝夫*; 安達伸雄*

真空, 31(10), p.850 - 853, 1988/10

https://doi.org/10.3131/jvsj.31.850

真空容器内壁の清浄処理のため、外部からベーキングする方法に代えて、容器内に低圧水銀ランプを取付け、内壁に紫外線を照射する方法を試みた。