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Thermal donor formation and the effect of copper contamination in oxygen-doped germanium

酸素添加Ge単結晶の熱処理による格子欠陥の生成

福岡 登*; 田渕 充*; 松田 光司

not registered; not registered; Matsuda, Koji

酸素をDopeしたGe単結晶中のThermal Donorの構造解析を試みた。熱処理後の格子間酸素原子の濃度減少からSingle thermal Donorは平均3個の酸素原子を含んでいることがわかった。また、酸素をDopeしたGe単結晶表面からのCu原子の拡散機構について電子線照射による解析を行った。実験結果よりCu原子は、格子間原子として表面より拡散し、結晶中に進出、約450$$^{circ}$$C以上の焼鈍で格子間位置を占めることがわかった。

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分野:Physics, Applied

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