ion beam of 1 KeVイオンのダイナミックミキシング法によるTiN膜の作成not registered; not registered; Sasaki, Teikichi; Baba, Yuji
ダイナミックミキシング法により窒化チタン膜を作成し、最適条件下で得た試料の化学組成をXPSにより求めた。SUS基板を500
Cに保ち、チタン蒸気中、1keV Nイオンにより照射した。約1000秒の照射後、試料表面はTiN特有の黄金色を呈した。このときの硬度はCVD-TiNのそれとほぼ等しく、また化学組成はN/Ti=1であった。なお室温で作成した薄膜はN/Ti=1になるものの、マイクロボイド含有のため硬度は前記試料のそれの1/2となった。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
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巻 |
: | 171 |
号 |
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ページ数 |
: | p.263 - 270 |
発行年月 |
: | 1989/00 |
キーワード |
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論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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InCites™ |
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パーセンタイル：51.19 分野：Materials Science, Multidisciplinary |
Altmetrics |
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