Baba, Yuji; Yamamoto, Hiroyuki; Sasaki, Teikichi
3d,4d及び5d系列の遷移金属中にイオン注入された希ガス原子(Ne,Ar,Kr,Xe)の電子構造をX線光電子分光法(XPS)及びX線誘起オージェ電子分光法(XAES)により解析した。オージェパラメータ法により求めた注入希ガス原子の原子外緩和エネルギーは、同一金属中(Ti)の場合、Ne
ArKrXeの順に増大する。一方、同一の希ガス原子(Xe)を異種の金属中で比較すると、金属のd電子数の増加とともに原子外緩和エネルギーが増大する傾向が認められた。またXeの原子外緩和エネルギーの絶対値は、金属原子自身の気相-固相間の原子外緩和エネルギー差と一致することから、Xe原子は、ターゲット金属自身と同等のポテンシャルを持つサイト、即ち金属原子の置換サイトに捕捉されることが明らかとなった。
no abstracts in English
使用言語 |
: | English |
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掲載資料名 |
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巻 |
: | 66 |
号 |
: | |
ページ数 |
: | p.424 - 432 |
発行年月 |
: | 1992/00 |
キーワード |
: | Rare Gas; Transition Metal; X-ray Photoelectron Spectroscopy; X-ray-induced Auger Electron Spectroscopy; Ion Implantation |
論文URL |
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論文解説記事 |
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Access |
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- Accesses |
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パーセンタイル：60.99 分野：Instruments & Instrumentation |
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