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SiおよびGeのイオン・電子同時照射効果の「その場」電子顕微鏡観察

Effects of concurrent irradiation with ions and electrons in Si and Ge and their in-situ observations

阿部 弘亨; 木下 智見*

Abe, Hiroaki; Kinoshita, Chiken*

加速器結合型超高圧電子顕微鏡を用いた、イオン・電子同時照射効果についての研究概説。SiおよびGeについて、イオン照射によるはじき出しのカスケードの蓄積過程と、その結果誘起される非晶質化に着目し、これらの現象に及ぼす同時電子照射効果について論じた。

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