SiおよびGeのイオン・電子同時照射効果の「その場」電子顕微鏡観察

Effects of concurrent irradiation with ions and electrons in Si and Ge and their in-situ observations

加速器結合型超高圧電子顕微鏡を用いた、イオン・電子同時照射効果についての研究概説。SiおよびGeについて、イオン照射によるはじき出しのカスケードの蓄積過程と、その結果誘起される非晶質化に着目し、これらの現象に及ぼす同時電子照射効果について論じた。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	Ionics
巻	:	20
号	:	7
ページ数	:	p.39 - 48
発行年月	:	1994/07
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キーワード	:	Silicon; Germanium; Cascade; Amorphization; Electron Microscopy; Ion; Electron; Irradiation

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登録番号 : A19940185
抄録集掲載番号 : 220684
論文投稿番号 : 12620

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